项目名称：超高真空阴极采购
项目编号：210713wn05
项目用途：科研
采购人名称：北航合肥创新研究院微纳科学与技术研究中心
采购人地址：安徽省合肥市新站高新区前江路南50米智慧产业园北航国家大学科技园A6楼
采购人联系方式：毛老师0551-69110022
采购公告日期：2021年7月13日
成交确定日期：2021年8月5日
成交供应商名称：北京时代天启真空科技有限公司
成交金额：95600元人民币
主要成交产品名称
序号 |
名称 |
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规格参数 |
数量 |
单位 |
1 |
超高真空阴极 |
ANGSTROM ONYX-2 STD UHV&HT |
1、2英寸圆形磁控溅射阴极，真空度优于10-10mbar； 2、满足超高真空和耐高温性能，耐温可达300℃； 3、磁铁采用优化NdFeB磁场和削尖式磁铁设计； 4、阴极采用耐高温材料，磁铁不用抽出，耐温300℃； 5、靶材尺寸2英寸，最厚可以放置6mm厚的靶材，厚度向下兼容，靶材固定采用压环方式，靶头处配有烟囱屏蔽罩，避免其他靶枪带来的污染； 6、靶头高度59.7mm，不包括烟囱的高度； 7、靶头外径75mm； 8、阴极总长度651.9mm； 9、阳极为整块不锈钢一次性加工成形，非焊接而成； 10、气动挡板； 11、卡环式靶面匀气环； 12、工作距离调节伸缩机构，带手动摇柄，调节距离0-152.4mm； 13、安装法兰CF100； 14、提供磁性材料和氧化物体系（CoFeB/MgO）生长测试报告。 15、提供的阴极保修期为验收合格后12个月，并负责提供全程的安装、调试、指导、检漏等服务。 |
1 |
个 |
询价小组成员名单：唐培智、韩丽、程厚义、汪建
成交公告期限：自发布之日起3个日历日。
备注：感谢各响应供应商对本项目的支持。
北航合肥创新研究院微纳科学与技术研究中心
2021年8月6日
